[D/F ¹Ú¸®Á¦] / [D/F Çö»ó¾×] / [¿¡ÄªÁ¦] / [Oxide] / [Metal Stripper] / [Catalyst] / [OSP] / [PTH] / [Etc]

 3. Etching

Á¦Ç°¸í

Àû     ¿ë

Ư    ¼º

°Ç     ¿å

ÀÛ¾÷ Á¶°Ç

¿¡Äª·®

SE 320

µ¿ Ç¥¸é Àüó¸®Á¦

(OSP,  È­ÇÐÀºµµ±Ý, ¹«ÀüÇØµ¿  µî)

À¯»ê°ú °ú»êÈ­¼ö¼Ò ¿¡ÄªÁ¦·Î

µ¿ÀÇ Ç¥¸é¿¡ Àû´çÇÑ Á¶µµ¸¦

Çü¼º

SE 584 S: 5 %V

H2SO4: 8 %V

H2O2: 4 %V

D.I water: To balance

¿Âµµ : R.T.

½Ã°£: 10-30S

0.7-1.5 um/min

SE 310

Dry film, S/M, ¹«ÀüÇØµ¿ Àüó¸®Á¦·Î Àû´ç

À¯»ê°ú °ú»êÈ­¼ö¼Ò ¿¡ÄªÁ¦·Î

µ¿ÀÇ Ç¥¸é¿¡ Àû´çÇÑ Á¶µµ¸¦

Çü¼º

SE 310 : 2-3 %V

H2SO4 (95%): 5-10 %V

H2O2 (35%): 3-8 %V

D.I water: To balance

¿Âµµ : R.T.

½Ã°£: 10-30S

0.7-1.5 um/min

°í¼Ó  ¿¡ÄªÁ¦

RC 210

CCLÀÇ µ¿¹Ú µÎ²²¸¦ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ³·Ãß±â À§ÇÑ °í¼Ó ¿¡ÄªÁ¦

°í¼Ó ¿¡Äª

¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÔ.

H2SO4 (95%): 10 %V

H2O2 (35%): 11 %V

RC 210: 7-10 %V

¿Âµµ : 30 ¡É

½Ã°£: 30-60S

2.0-4.0 um/min

Flash etching

FE 510

Flipchip ±âÆÇ°ú °°Àº Á¼°í ¾ãÀº ȸ·Î ¿¡Äª¿¡ Àû´ç

¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª°í ¿¡Äª·®ÀÌ ÀûÀ½

H2SO4 (95%) : 5 %V

H2O2 (35%): 5 %V

FE 510 : 5 %V

¿Âµµ : R.T.

½Ã°£: 20-60S

0.2-0.6um/min

 

(ÁÖ)¾ÆÀÌÆ¼¿¥¾¾ : ÀÎõ±¤¿ª½Ã ³²µ¿±¸ È£±¸Æ÷·Î 115 (°íÀܵ¿, ³²µ¿°ø´Ü 101B 4L 2Ãþ) TEL : 032-816-6891 /FAX : 816-6893

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