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SE 320
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(OSP, ÈÇÐÀºµµ±Ý, ¹«ÀüÇØµ¿ µî)
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µ¿ÀÇ Ç¥¸é¿¡ Àû´çÇÑ Á¶µµ¸¦
Çü¼º
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SE 584 S: 5 %V
H2SO4: 8 %V
H2O2: 4 %V
D.I water: To balance
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¿Âµµ : R.T.
½Ã°£: 10-30S
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0.7-1.5 um/min
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SE 310
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Dry film, S/M, ¹«ÀüÇØµ¿ Àüó¸®Á¦·Î Àû´ç
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• À¯»ê°ú °ú»êȼö¼Ò ¿¡ÄªÁ¦·Î
µ¿ÀÇ Ç¥¸é¿¡ Àû´çÇÑ Á¶µµ¸¦
Çü¼º
|
SE 310 : 2-3 %V
H2SO4 (95%): 5-10 %V
H2O2 (35%): 3-8 %V
D.I water: To balance
|
¿Âµµ : R.T.
½Ã°£: 10-30S
|
0.7-1.5 um/min
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°í¼Ó ¿¡ÄªÁ¦
RC 210
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CCLÀÇ µ¿¹Ú
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|
•°í¼Ó ¿¡Äª
•¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÔ.
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H2SO4 (95%): 10 %V
H2O2 (35%): 11 %V
RC 210: 7-10 %V
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¿Âµµ : 30 ¡É
½Ã°£: 30-60S
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2.0-4.0 um/min
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Flash etching
FE 510
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Flipchip ±âÆÇ°ú
°°Àº Á¼°í ¾ãÀº ȸ·Î ¿¡Äª¿¡ Àû´ç
|
•¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª°í ¿¡Äª·®ÀÌ ÀûÀ½
|
H2SO4 (95%) : 5 %V
H2O2 (35%): 5 %V
FE 510 : 5 %V
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¿Âµµ : R.T.
½Ã°£: 20-60S
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0.2-0.6um/min
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